EBE 系列｜电子束实验机 / 中试机
用于材料初筛、EB 配方研发、EB 中试验证及量产导入评估。
集成剂量—深度预测工具，让电子束工艺从“盲试”变成“有方向的验证”。
设备亮点
- 自屏蔽，实验室即插即用；
- 集成“剂量—深度预测工具”，减少完全盲试；
- Hybrid，可选集成 172 nm 准分子模块，共用氮气腔体。
EBE参数与中试线
| 参数 | 典型值 |
|---|---|
| 加速电压 | 80–200 kV（150 / 200 kV 可按配置选择） |
| 样品尺寸 | 实验机：A4（210 × 297 mm）；中试机：宽 400 mm |
| 样品厚度 | 实验机：＜ 50 mm |
| 传输速度 | 最高 30 m/min |
| 典型设备尺寸 | W1.8 m × D1.3 m × H1.7 m |
| 可选模块 | 172 nm 准分子灯模块 |
板材中试线
用 EBE 先把验证方向收窄
提交材料结构、目标作用层、当前工艺和预期性能，易必固团队将据此讨论实验验证、中试验证和量产导入路径。